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應材發表史上最快的晶圓檢測攻略!

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【應材史上最快的晶圓檢測攻略!】
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💿在晶圓製程中,良率高低是生產的重要指標,

而「量測與檢驗」是其中一項重要把關 ,

就像骨牌遊戲中的停損點一樣,

若能越快檢測出致命缺陷,即能及時停損,降低研發成本。

然而,製程愈趨精密,檢測成本隨之提高,

日益微小但致命的缺陷,是晶圓檢測上的一大難題,

如何在成本與精確度之間取得完美平衡,

成為晶圓檢測的重大挑戰。

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#突破瓶頸_應材發表以大數據及AI作為掌控製程新攻略

隨著大數據以及人工智慧的進步,

我們讓機器扮演產品檢測員的角色👨‍🏭

搭載新型 Enlight®、ExtractAI™、SEMVision® 技術系統,

就好比提升檢測員的觀察能力,以及加速大腦運作的速度,

使其能接收更多訊號,並且迅速分類,辨別缺陷。

而隨著數據的累積,就能以較少的檢測步驟,精準偵測缺陷,

甚至預判缺陷,予以迅速修正。

全面強化產線監控能力,拉高良率與生產速率☄

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▋ 突破技術說明
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• 新型 Enlight® 光學晶圓檢測系統:
結合突破性效能與嶄新光學元件,從每片晶圓中取得更多良率數據。

• ExtractAI™ 技術:
技術運用人工智慧,針對不利於良率的缺陷進行快速分類,並消除雜訊。

• SEMVision® 電子束複檢系統:
能相容於新的Enlight® 系統和 ExtractAI™技術,有效地自雜訊中辨別缺陷並將其分類。

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▋ 延伸閱讀 >> 晶圓檢測新攻略三部曲
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晶圓檢測面臨的瓶頸👉https://blog.appliedmaterials.com/new-playbook-finding-and-correcting-defects-advanced-chips

運用AI,克服挑戰👉https://blog.appliedmaterials.com/solving-big-problems-defect-detection-requires-big-data

應材製程新攻略👉https://blog.appliedmaterials.com/introducing-new-playbook-process-control

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#晶圓檢測
#AMT_Enlight
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